据北方华创002371）官微，北方华研制推出3款12英寸立式炉原子层堆积设备，进入客户端验证，且完成大规模量产。北方华创通过多年的技术创新及产业化验证，已完成立式氧化/退火炉，立式LPCVD和立式ALD系列设备全面布局，并估计在本年下半年推出立式炉原子层堆积设备的其他DEMAX系列产品。
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